Wafer & Die Testing
I nostri tester ad alta produttività sono utilizzati in tutto il mondo per il front-end testing, dai test a livello wafer mediante probe fino al test e alla selezione dei singoli die separati e qualificati come Known Good Die (KGD).
Le caratteristiche e i principali vantaggi del nostro sistema sono:
Incremento della produttività
- Gestione di più prober da un unico sistema di test
- Minimo costo di test
- Riduzione dello spazio occupato
- Configurazione automatizzata con connettività di rete
- Binning offline
Capacità di test
- Capacità di test su die multipli
- Test di valanga su wafer
- Capacità di test a basso RDS(ON)
- Test di switching dinamico a livello wafer
- Wafer mapping / analisi della resa
- Soluzioni per Known Good Die (KGD)
Il test di produzione a livello wafer viene eseguito su un prober automatico. Ogni die sul wafer viene contattato una sola volta per evitare danni alla superficie causati dall’azione di sfregamento degli aghi della probe card. Le risorse di test devono quindi essere integrate in un’unica stazione di test e i test vengono eseguiti in sequenza. Cosmic offre una gamma di test head seriali fino a 2000 V e 200 A per il wafer testing. I gruppi di test possono essere riassunti come segue:
Il generatore di test ad alta tensione esegue misure di breakdown ad alta tensione e di corrente di leakage. Il generatore di test a bassa tensione esegue test ad alta corrente nello stato ON e nella regione attiva.
Tutti i dispositivi discreti di potenza richiedono la verifica della corretta esecuzione dei processi di bonding durante l’assemblaggio. Questi test vengono eseguiti mediante il generatore di test FB.
I test di switching dinamico con carico induttivo clamped e i test di cortocircuito vengono eseguiti principalmente sui dispositivi IGBT e sui relativi diodi raddrizzatori veloci. Il generatore di test per lo switching dinamico esegue tutti questi test e consente inoltre di effettuare test dinamici della carica di gate.
In particolare, i MOSFET richiedono un test funzionale per verificarne la robustezza necessaria nelle applicazioni con carichi induttivi. Questi test possono essere eseguiti mediante il generatore per test di switching induttivo non clamped (UIS). Cosmic consente di testare fino a 4 die con un singolo touchdown del prober.
Se è richiesta un’accuratezza di misura dello 0,02% nella regolazione della tensione, il generatore di test Voltage Regulator rappresenta la soluzione ideale.
Cosmic ha collaborato con i propri clienti per misurare wafer MOSFET di ultima generazione con struttura trench, caratterizzati da un RDS(ON) inferiore a 2 mΩ, e ha condotto test sperimentali su die con valori di 600 µΩ.
Known Good Die (KGD) testing
Se i die vengono assemblati in moduli automotive multi-chip contenenti 36 die e, per garantire la sostenibilità economica, la resa del modulo deve essere almeno dell’85%, la resa media dei singoli die deve raggiungere almeno il 99,55%, ipotizzando un tasso di difettosità nullo durante l’assemblaggio.
Il normale screening parametrico dei die a livello wafer potrebbe non essere sufficiente a ridurre il tasso di guasto al di sotto dello 0,45%. Potrebbe quindi essere necessario eseguire uno screening dei difetti dopo il dicing, sui singoli die.
Cosmic ha sviluppato soluzioni per il testing dei Known Good Die (KGD), sia per die IGBT e MOSFET convenzionali sia per dispositivi Flip-Chip, fornendo soluzioni a clienti negli Stati Uniti, in Europa e in Giappone.
Wafer Test
Per i wafer di dispositivi discreti di potenza a struttura verticale, il singolo contatto posteriore in condizioni di alta corrente e il cross-coupling tra i die durante il breakdown ad alta tensione possono rendere difficile ottenere risultati di test costantemente accurati quando si testano più die in parallelo.
Cosmic ha sviluppato una test head sequenziale che consente di testare più die con un singolo touchdown del prober. Lo stesso programma di test può essere utilizzato sia per die multipli sia per un singolo die, mentre il segnale di presenza del die viene acquisito direttamente dal wafer prober.